由于无尘车间需要保持相应的洁净度，所使用的建筑材料应符合一定的要求。无尘车间地板要求平整、耐磨、易清洁、防静电、不严重反光、美观耐用。地面材料的选择尤为关键。具体使用的材料应结合无尘车间建设方的预算来确定。
首先要选择符合自己需求的洁净室的地板材料。常见的无尘车间地板分为涂层地板、粘合地板、水磨石地板、金属格栅通风地板。涂装无尘车间地坪按材质不同分为聚氨酯涂料、环氧树脂和聚酯树脂砂浆。这种无尘车间地板附着力强、施工方便、弹性好、耐水、耐腐蚀。
粘合无尘车间地板，有PVC软板、PVC半硬板等，常用片材和卷材形式，具有一定弹性，耐磨防尘，易清洁，耐腐蚀，抗静电，但完整性较差。接缝、粘贴施工质量失控后，会影响使用效果。适用于电子、精密制造的一般无尘车间。水磨石无尘车间地面，施工质量会一发不可收拾。金属隔断通风地板用于垂直单流洁净室作为回风格栅，一般采用穿孔板。
对于要求比较高的无尘车间，也需要对无尘车间的地面进行防静电处理。以防静电水磨石为面层，再铺设静电接地网，达到防静电效果。如果无尘车间地面采用防静电水泥砂浆，则需要加装静电接地网以达到防静电功能。一般来说，电子无尘车间对防静电有更高的要求。
